【赫哲真空】螺桿真空泵設計及工作原理

日期：2025-06-01 21:37

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摘要：兩個平衡軸承支撐的相互嚙合螺桿轉子 (3) 具有同步相反的螺紋并在將其僅僅圍住的圓柱形殼體 (2) 內無接觸地反向旋轉，這些一起構成一個多級泵。由于兩個轉子的反向網孔，密封在每個螺紋中的容積隨著轉子向(4) 推進。該泵在入口 (1) 或處都沒有閥門。當置換容積達到開口處時，壓力與氣壓平衡。這意味著環境空氣流入置換容積，然后隨著轉子轉動再次排放。這種脈沖氣流產生高水平的耗散能量并加熱泵。通過內部壓縮方式可化耗散能量。這種內部壓縮可通過減少方向的螺距來實現。殼體和轉子之間的間隙以及轉子之間的間...

兩個平衡軸承支撐的相互嚙合螺桿轉子 (3) 具有同步相反的螺紋并在將其僅僅圍住的圓柱形殼體 (2) 內無接觸地反向旋轉，這些一起構成一個多級泵。由于兩個轉子的反向網孔，密封在每個螺紋中的容積隨著轉子向(4) 推進。該泵在入口 (1) 或處都沒有閥門。當置換容積達到開口處時，壓力與氣壓平衡。這意味著環境空氣流入置換容積，然后隨著轉子轉動再次排放。這種脈沖氣流產生高水平的耗散能量并加熱泵。通過內部壓縮方式可化耗散能量。這種內部壓縮可通過減少方向的螺距來實現。殼體和轉子之間的間隙以及轉子之間的間隙決定了螺桿泵可實現的極限壓力。當轉子與另一轉嚙合時產生的幾何形狀和間隙配置也影響極限壓力。

由于脈沖氣流產生的耗散能量在側加熱泵，這個的位置上需要冷卻。殼體和轉子之間的間隙是較熱轉子和冷卻的殼體之間溫差造成的結果。產生的熱量和溫度是入口壓力范圍產生的結果。在高入口壓力（接近大氣壓）時溫度低，因為此時沒有進行任何壓縮工作且置換空氣足以將泵的熱量輸送出去。此外，高氣體流量也防止氣體在末級中振蕩。在極限壓力 (p < 1 hPa) 下的操作過程中，大氣振蕩在區域產生較高的溫度，由于沒有氣體通過泵，因此沒有熱量被輸送到泵外。

GXS泵是干式螺桿泵，具有內部壓縮。螺桿轉子具有可變螺距的對稱幾何形狀。這些泵沒有帶有控制孔的端板；相反，氣體在大氣壓下軸向排出。由于內部壓縮，脈沖氣體量較低。

這將導致耗電量降低、操作無噪音、泵內溫度均勻分布以及冷卻水耗量降低。這使得這些泵**成本效益，雖然其設計堅固耐用。

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