【赫哲真空】高壓風機的設計及工作原理

日期：2025-06-01 23:03

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摘要：側槽高真空泵的工作范圍從氣壓到高真空范圍。該泵是側槽泵（壓力范圍 1,000 至 5 hPa，層流）與 Holweck 級（壓力范圍 5 至 10-5 hPa，過渡和分子流）。圖 4.20: 側槽真空泵的工作原理側槽真空泵的泵系統（圖 4.20）包括一個轉子盤 (1)，其具有分布在外周和環狀工作室上的葉片 (2)，以及側槽 (3)。側槽通過斷路器 (4) 在某一點收窄至圓盤外形。通過旋轉轉子葉片產生的螺旋流從入口流動到產生泵送作用。這導致入口 (5) 和 (6) 之間的壓差。通過將多個泵級串聯連接可實現較低的極限壓力。 ...

側槽高真空泵的工作范圍從氣壓到高真空范圍。該泵是側槽泵（壓力范圍 1,000 至 5 hPa，層流）與 Holweck 級（壓力范圍 5 至 10-5 hPa，過渡和分子流）。

圖 4.20: 側槽真空泵的工作原理

側槽真空泵的泵系統（圖 4.20）包括一個轉子盤 (1)，其具有分布在外周和環狀工作室上的葉片 (2)，以及側槽 (3)。側槽通過斷路器 (4) 在某一點收窄至圓盤外形。通過旋轉轉子葉片產生的螺旋流從入口流動到產生泵送作用。這導致入口 (5) 和 (6) 之間的壓差。通過將多個泵級串聯連接可實現較低的極限壓力。

在壓力在 1 和 20 hPa 之間時，泵離開層流范圍，且 Holweck 級負責氣體的置換。

為適應側槽泵級仍然相當高的壓力，Holweck 通道在真空側很小且間隙很窄。在吸入側使用較大的通道橫截面，以提高抽速。

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